主要项目 | 型号 | 厂家产地 |
固态微波源 | 6KW/2450±50 MHz | 国产或进口 |
输入电源 | 380V/50Hz±5% 9KW | 国产 |
微波磁控管 | 10KW/2450MHz | 东芝、日立（可选） |
微波反应腔体 | 圆柱型 | 自制 |
气体流量系统 | 4路气体质量流量计及气体阀门 | 日本 |
真空系统 | 真空阀门及过滤器 | 日本 |
电控系统 | PLC +触摸屏 | 西门子 |
测量 | 真空计、红外测温仪 | 国产 |
样品沉积台 | ≥50mm | 自制 |
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